EMICON SA - zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien

Die EMICON SA Systeme der PLASUS GmbH ( www.plasus.de ) sind speziell für den Einsatz zur Prozessregelung und zur Qualitätssicherung in Industrieanlagen und Produktionslinien konzipiert. Wesentliche Hardwarekomponenten und Firmwarebausteine wurden von der IfU Diagnostic Systems GmbH im Auftrag und in Zusammenarbeit mit der PLASUS GmbH entwickelt und gefertigt. Die integrierte Prozessoreinheit ermöglicht einen 24/7 Stand-Alone Betrieb und die einfache Integration des Systems z.B. per LAN oder Profibus/Profinet in eine vorhandene Anlagensteuerung. Applikationen:

» Prozessregelung in reaktiven Sputterprozessen (Gasfluss/Leistung)
» überwachung der Prozessstabilität
» Endpunktbestimmung in Plasma-Ätzprozessen
» Ionendichteregelung in HIPIMS-Prozessen
» Erkennung und überwachung von Plasmaverunreinigungen
» Ortsaufgelöste Prozessüberwachung von großflächigen Anwendungen
Merkmale:

» Stand-Alone Betrieb (24/7)
» Prozesskontrolle mit Sollwertfunktion und PID Regelfunktion
» Mehrkanalsysteme für ortsaufgelöste Messungen
» Spannungseingänge für externe Sensorsignale (?-Sonde, Targetspannung)
» Digitale und analoge Ein- und Ausgänge zur Systemintegration
» PROFIBUS/PROFINET und LAN Schnittstelle zur Anlagenintegration
» Konfiguration über LAN mit Windows Software
+++ Das EMICON SA System der PLASUS GmbH wird ausschließlich über die PLASUS GmbH
( www.plasus.de ) vertrieben. +++